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एफएबी स्वच्छ कमरे को आर्द्रता को क्यों नियंत्रित करना पड़ता है?

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चीन KeLing Purification Technology Company प्रमाणपत्र
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एफएबी स्वच्छ कमरे को आर्द्रता को क्यों नियंत्रित करना पड़ता है?

एफएबी स्वच्छ कमरे को आर्द्रता को नियंत्रित क्यों करना पड़ता है?

 

Humidity is a common environmental control condition in the operation of cleanrooms. सफाई के संचालन में आर्द्रता एक सामान्य पर्यावरण नियंत्रण स्थिति है। The target value of relative humidity in the semiconductor clean room is controlled to be in the range of 30 to 50%, allowing the error to be within a narrow range of ±1%, such as a photolithographic area - or even smaller in the far ultraviolet processing (DUV) area. अर्धचालक स्वच्छ कमरे में सापेक्ष आर्द्रता का लक्ष्य मान 30 से 50% की सीमा में नियंत्रित किया जाता है, जिससे त्रुटि% 1% की संकीर्ण सीमा के भीतर हो सकती है, जैसे कि फोटोलिथोग्राफ़िक क्षेत्र - या बहुत दूर तक छोटा पराबैंगनी प्रसंस्करण (DUV) क्षेत्र। - In other places, you can relax to within ±5%. - अन्य स्थानों पर, आप। 5% के भीतर आराम कर सकते हैं।

क्योंकि सापेक्ष आर्द्रता में कई कारक हैं, जो स्वच्छ कमरे के समग्र प्रदर्शन में योगदान कर सकते हैं, जिनमें शामिल हैं:

● जीवाणु वृद्धि;

● कमरे के तापमान पर कर्मचारियों को जो आराम का अनुभव होता है;

● स्थैतिक आवेश प्रकट होता है;

● धातु का क्षरण;

● जल वाष्प संघनन;

● लिथोग्राफी का क्षरण;

● जल का अवशोषण।

 

Bacteria and other biological contaminants (mold, viruses, fungi, mites) can actively multiply in environments with relative humidity above 60%. बैक्टीरिया और अन्य जैविक संदूषक (मोल्ड, वायरस, कवक, कण) 60% से अधिक सापेक्ष आर्द्रता वाले वातावरण में सक्रिय रूप से गुणा कर सकते हैं। Some flora can grow when the relative humidity exceeds 30%. कुछ वनस्पति तब बढ़ सकती है जब सापेक्ष आर्द्रता 30% से अधिक हो। When the relative humidity is between 40% and 60%, the effects of bacteria and respiratory infections can be minimized. जब सापेक्ष आर्द्रता 40% और 60% के बीच होती है, तो बैक्टीरिया और श्वसन संक्रमण के प्रभाव को कम किया जा सकता है।

 

Relative humidity in the range of 40% to 60% is also a modest range in which humans feel comfortable. 40% से 60% की सीमा में सापेक्ष आर्द्रता भी एक मामूली सीमा है जिसमें मनुष्य सहज महसूस करते हैं। Excessive humidity can make people feel depressed, while humidity below 30% can make people feel dry, chapped, respiratory discomfort and emotional discomfort. अत्यधिक आर्द्रता लोगों को उदास महसूस कर सकती है, जबकि 30% से नीचे की आर्द्रता लोगों को शुष्क, जकड़ी हुई, सांस लेने में तकलीफ और भावनात्मक परेशानी महसूस कर सकती है।

High humidity actually reduces the accumulation of static charge on the surface of the clean room - this is the desired result. उच्च आर्द्रता वास्तव में साफ कमरे की सतह पर स्थिर चार्ज के संचय को कम करती है - यह वांछित परिणाम है। Lower humidity is more suitable for charge accumulation and a potentially damaging source of electrostatic discharge. कम आर्द्रता चार्ज संचय और इलेक्ट्रोस्टैटिक निर्वहन के संभावित हानिकारक स्रोत के लिए अधिक उपयुक्त है। When the relative humidity exceeds 50%, the static charge begins to dissipate rapidly, but when the relative humidity is less than 30%, they can persist for a long time on the insulator or the ungrounded surface. जब सापेक्ष आर्द्रता 50% से अधिक हो जाती है, तो स्थैतिक आवेश तेजी से फैलने लगता है, लेकिन जब सापेक्ष आर्द्रता 30% से कम हो जाती है, तो वे लंबे समय तक इन्सुलेटर या भूमिगत सतह पर बने रह सकते हैं।

35% से 40% के बीच सापेक्ष आर्द्रता एक संतोषजनक समझौता हो सकता है, और सेमीकंडक्टर क्लीनर आमतौर पर स्थिर चार्ज के संचय को सीमित करने के लिए अतिरिक्त नियंत्रण का उपयोग करते हैं।

 

The speed of many chemical reactions, including the corrosion process, will increase as the relative humidity increases. संक्षारण प्रक्रिया सहित कई रासायनिक प्रतिक्रियाओं की गति बढ़ जाएगी, क्योंकि सापेक्ष आर्द्रता बढ़ जाती है। All surfaces exposed to the air surrounding the clean room are quickly covered with at least one monolayer of water. साफ कमरे के आसपास की हवा के संपर्क में आने वाली सभी सतहों को पानी के कम से कम एक मोनोलर के साथ जल्दी से कवर किया जाता है। When these surfaces are composed of a thin metal coating that can react with water, high humidity can accelerate the reaction. जब ये सतहें एक पतली धातु कोटिंग से बनती हैं जो पानी के साथ प्रतिक्रिया कर सकती हैं, तो उच्च आर्द्रता प्रतिक्रिया को तेज कर सकती है। Fortunately, some metals, such as aluminum, can form a protective oxide with water and prevent further oxidation reactions; सौभाग्य से, कुछ धातुएं, जैसे कि एल्यूमीनियम, पानी के साथ एक सुरक्षात्मक ऑक्साइड बना सकती है और आगे ऑक्सीकरण प्रतिक्रियाओं को रोक सकती है; but another case, such as copper oxide, is not protective, so In high humidity environments, copper surfaces are more susceptible to corrosion. लेकिन एक अन्य मामला, जैसे कि कॉपर ऑक्साइड, सुरक्षात्मक नहीं है, इसलिए उच्च आर्द्रता वाले वातावरण में, तांबे की सतह जंग के लिए अतिसंवेदनशील होती है।

 

In addition, in a high relative humidity environment, the photoresist is expanded and aggravated after the baking cycle due to the absorption of moisture. इसके अलावा, एक उच्च सापेक्ष आर्द्रता वाले वातावरण में, नमी के अवशोषण के कारण पाक चक्र के बाद फोटोरेसिस्ट का विस्तार और बढ़ जाता है। Photoresist adhesion can also be negatively affected by higher relative humidity; फ़ोटोरसिस्ट आसंजन भी उच्च सापेक्ष आर्द्रता से नकारात्मक रूप से प्रभावित हो सकता है; lower relative humidity (about 30%) makes photoresist adhesion easier, even without the need for a polymeric modifier. कम सापेक्ष आर्द्रता (लगभग 30%) पॉलिमेरिक संशोधक की आवश्यकता के बिना भी फोटोस्टार आसंजन को आसान बनाता है।

Controlling relative humidity in a semiconductor clean room is not arbitrary. एक अर्धचालक साफ कमरे में सापेक्ष आर्द्रता को नियंत्रित करना मनमाना नहीं है। However, as time changes, it is best to review the reasons and foundations of common, generally accepted practices. हालांकि, जैसे-जैसे समय बदलता है, आम तौर पर स्वीकृत प्रथाओं के कारणों और नींव की समीक्षा करना सबसे अच्छा है।

 

नमी हमारे मानव आराम के लिए विशेष रूप से ध्यान देने योग्य नहीं हो सकती है, लेकिन इसका अक्सर उत्पादन प्रक्रिया पर बहुत प्रभाव पड़ता है, विशेष रूप से जहां आर्द्रता अधिक होती है, और आर्द्रता अक्सर सबसे खराब नियंत्रण होती है, यही कारण है कि स्वच्छ कमरे के तापमान और आर्द्रता नियंत्रण में , नमी को प्राथमिकता दी जाती है।

 

पब समय : 2020-06-06 19:55:11 >> समाचार सूची
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