इलेक्ट्रॉनिक चिप विनिर्माण प्रक्रिया में, विभिन्न उत्पादन क्षेत्रों में स्वच्छता के लिए आवश्यकताएं भिन्न होती हैं,मुख्य रूप से आईएसओ 14644-1 मानक और विनिर्माण प्रक्रिया की सटीकता की जरूरतों पर आधारित हैनिम्नलिखित विशिष्ट आवश्यकताएं हैंः
लिथोग्राफिक क्षेत्र:उच्चतम स्वच्छता आवश्यकताओं, आमतौर पर आईएसओ 1-3, 0.1 माइक्रोन और ऊपर कणों को नियंत्रित करने की जरूरत है।छोटे कण फोटोलिथोग्राफी पैटर्न में दोष पैदा कर सकते हैंचिप के प्रदर्शन को प्रभावित करता है।
उत्कीर्णन और जमाव के क्षेत्र:उच्च स्वच्छता आवश्यकताओं, सामान्यतः आईएसओ 3-5, 0.3 माइक्रोन और ऊपर के कणों को नियंत्रित करने की आवश्यकता है।
पैकेज क्षेत्रःमध्यम स्वच्छता आवश्यकताओं, आमतौर पर आईएसओ 5-7, 0.5 माइक्रोन और ऊपर के कणों को नियंत्रित करने की आवश्यकता है।
परीक्षण क्षेत्र:स्वच्छता की आवश्यकताएं कम हैं, सामान्यतः आईएसओ 7-8, 0.5 माइक्रोन और ऊपर के कणों को नियंत्रित करने की आवश्यकता है।
रासायनिक भंडारण क्षेत्र:स्वच्छता की आवश्यकताएं कम हैं, आमतौर पर आईएसओ 7-8।
उपकरण रखरखाव क्षेत्र:न्यूनतम स्वच्छता आवश्यकताएं, सामान्यतः ISO 8 स्तर।
ड्रेसिंग रूम और एयर शॉवर:स्वच्छता की आवश्यकताएं मध्यम होती हैं, आमतौर पर आईएसओ 5-7.
सामग्री पहुँच क्षेत्रःस्वच्छता की आवश्यकताएं कम हैं, आम तौर पर आईएसओ 7-8 स्तर।
स्वच्छता के रखरखाव के उपाय
वायु शुद्धिकरण प्रणालीःउच्च दक्षता फिल्टर (HEPA) और अति उच्च दक्षता फिल्टर (ULPA) से सुसज्जित वायु स्वच्छता सुनिश्चित करने के लिए।
वायु प्रवाह संगठनःऊर्ध्वाधर एक दिशात्मक प्रवाह आमतौर पर लिथोग्राफी क्षेत्र में उपयोग किया जाता है, और अन्य क्षेत्रों में गैर-एक दिशात्मक प्रवाह का उपयोग किया जा सकता है।
तापमान और आर्द्रता नियंत्रण:तापमान को सामान्यतः 22 °C ±2 °C पर नियंत्रित किया जाता है और आर्द्रता को 45%-65% आरएच पर नियंत्रित किया जाता है।
सकारात्मक दबाव नियंत्रणःस्वच्छ क्षेत्र और अशुद्ध क्षेत्र के बीच 5-10Pa का सकारात्मक दबाव अंतर बनाए रखा जाना चाहिए।
संक्षेप में, इलेक्ट्रॉनिक चिप विनिर्माण की स्वच्छता आवश्यकताएं प्रक्रिया और क्षेत्र के अनुसार भिन्न होती हैं, लिथोग्राफी और उत्कीर्णन क्षेत्रों में उच्च स्वच्छता आवश्यकताएं होती हैं,जबकि पैकेजिंग और परीक्षण क्षेत्र अपेक्षाकृत कम हैंचिप विनिर्माण की गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए इन सख्त स्वच्छता मानकों की कुंजी है।
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