अर्धचालक स्वच्छ कक्ष में निस्पंदन प्रणाली आंतरिक वातावरण को स्वच्छ और धूल मुक्त रखने के लिए उपकरण का एक महत्वपूर्ण हिस्सा है।निस्पंदन प्रणाली के प्रभावी संचालन को सुनिश्चित करने और इसकी सेवा जीवन को बढ़ाने के लिए, हम रखरखाव और रखरखाव के उपायों की एक श्रृंखला लेने की जरूरत है।
फ़िल्टर की नियमित सफाई: अर्धचालक स्वच्छ कक्ष में फ़िल्टर वायु की स्वच्छता सुनिश्चित करने के लिए मुख्य घटक है।इसलिए फ़िल्टर को नियमित रूप से साफ या बदला जाना चाहिए ताकि धूल और कणों से फ़िल्टर सामग्री को बंद करने और इसके फ़िल्टरिंग प्रभाव को प्रभावित करने से रोका जा सकेफ़िल्टर की सफाई करते समय फ़िल्टर सामग्री को क्षतिग्रस्त करने से बचने के लिए विशेष क्लीनर और औजारों का प्रयोग किया जाना चाहिए।
निकास प्रणाली की परिचालन स्थिति सीधे स्वच्छ कक्ष में वायु की गुणवत्ता को प्रभावित करती है। निकास प्रणाली के सामान्य संचालन और सुचारू वेंटिलेशन सुनिश्चित करने के लिए नियमित रूप से जाँच की जानी चाहिए।निरीक्षण में प्रशंसक भी शामिल है, वायु नलिका, निकास बंदरगाह और अन्य घटक, यदि क्षतिग्रस्त या खराबी पाई जाती है, तो इसे समय पर मरम्मत या प्रतिस्थापित किया जाना चाहिए।
वायु गुणवत्ता निगरानी उपकरण स्थापित करके, अर्धचालक स्वच्छ कक्ष की वायु गुणवत्ता की वास्तविक समय में निगरानी की जा सकती है।ताकि वायु गुणवत्ता की समस्याओं का समय पर पता लगाया जा सके और संबंधित उपाय किए जा सकेंउदाहरण के लिए, जब हवा में कणों की एकाग्रता सेट मूल्य से अधिक हो जाती है,बैकअप फ़िल्टर सक्रिय किया जा सकता है या कणों की एकाग्रता को कम करने के लिए सफाई समय की संख्या बढ़ाई जा सकती है.
अर्धचालक स्वच्छ कक्षों में उपभोग्य सामग्रियों और सहायक उपकरण, जैसे सर्जिकल टोपी और दस्ताने, को उनकी स्वच्छता और नसबंदी सुनिश्चित करने के लिए समय-समय पर बदलना चाहिए।उपभोग्य सामग्रियों और सामानों को बदलने पर, उन उत्पादों को चुनने के लिए ध्यान दिया जाना चाहिए जो आवश्यकताओं को पूरा करते हैं और निर्धारित संचालन प्रक्रियाओं का पालन करते हैं।
अर्धचालक स्वच्छता कक्षों के ऑपरेटरों को फिल्टरेशन प्रणाली के सिद्धांत, संचालन और रखरखाव विधियों को समझने के लिए व्यवस्थित प्रशिक्षण प्राप्त करना चाहिए।और परिचालन कौशल और सुरक्षा जागरूकता में सुधारप्रशिक्षण के माध्यम से, ऑपरेटरों को निस्पंदन प्रणाली की परिचालन स्थितियों को बेहतर ढंग से समझने, समय पर समस्याओं का पता लगाने और उन्हें हल करने में मदद मिलती है।
अर्धचालक स्वच्छता कक्ष की वास्तविक स्थिति के अनुसार, सफाई चक्र, निरीक्षण चक्र, प्रतिस्थापन चक्र आदि सहित निस्पंदन प्रणाली के लिए एक विस्तृत रखरखाव योजना विकसित करें।योजना के अनुसार रखरखाव निस्पंदन प्रणाली के दीर्घकालिक स्थिर संचालन और निस्पंदन प्रभाव सुनिश्चित कर सकते हैं.
प्रत्येक रखरखाव के समय, सामग्री, कर्मियों और अन्य जानकारी को रिकॉर्ड करने के लिए निस्पंदन प्रणाली रखरखाव रिकॉर्ड और रखरखाव लॉग स्थापित करें। रखरखाव रिकॉर्ड और लॉग का विश्लेषण करके,आप निस्पंदन प्रणाली के संचालन की स्थिति और मौजूदा समस्याओं को समझ सकते हैं, और उन्हें समय पर ढूंढ और हल करें।
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