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फ़िल्टर्ड हवा का पुनर्चक्रण मॉड्यूलर क्लीनरूम वेंटिलेशन की रीढ़ है, जो अधिकांश सुविधाओं में कुल वायु आपूर्ति का 70~90% है।
उच्च दक्षता वाले कण हवा (HEPA) या अति-कम प्रवेश वायु (ULPA) फ़िल्टर पुनर्चक्रण प्रणालियों में 99,97% या अधिक कणों को पकड़ते हैं, जो 0.3 माइक्रोन तक छोटे होते हैं,स्वच्छ कक्षों के वर्गीकरण को बनाए रखनाउदाहरण के लिए, आईएसओ वर्ग 5 से आईएसओ वर्ग 8 तक। पुनर्चक्रण ताजी हवा पर निर्भरता को कम करता है, बाहरी हवा को कंडीशनिंग करने की आवश्यकता को कम करके ऊर्जा लागत में कटौती करता है।
यह वायु वितरण को भी सुनिश्चित करता है, जिससे अस्थिर क्षेत्रों को रोका जा सकता है जहां प्रदूषक जमा हो सकते हैं।स्वच्छ कक्ष के भीतर उत्पन्न होने वाले प्रदूषकों के रूप मेंउदाहरण के लिए, प्रक्रिया उत्सर्जन, मानव बायोफ्लुएंस) पर्याप्त ताजी हवा के बिना पर्याप्त रूप से पतला नहीं हो सकता है।

