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—— IATEC, अर्जेंटीना
—— मोहम्मद साद
मॉड्यूलर क्लीनरूम को "बिल्डिंग ब्लॉक" तर्क के साथ डिज़ाइन किया गया है, जिससे अर्धचालक कारखानों को विशिष्ट प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुसार अंतरिक्ष लेआउट को अनुकूलित करने की अनुमति मिलती है।
उदाहरण के लिए, फोटोलिथोग्राफी, उत्कीर्णन और पैकेजिंग के लिए क्षेत्रों को अलग-अलग स्वच्छता स्तरों (आईएसओ 1 से आईएसओ 9) के साथ स्वतंत्र रूप से कॉन्फ़िगर किया जा सकता है।
यह लचीलापन उत्पादन लाइनों को उन्नत करते समय बड़े पैमाने पर पुनर्निर्माण की आवश्यकता को समाप्त करता है, जिससे डाउनटाइम काफी कम हो जाता है।
मॉड्यूलर पैनल, आमतौर पर एल्यूमीनियम मिश्र धातु या जस्ती स्टील से बने होते हैं, जिन्हें जल्दी से इकट्ठा और अलग किया जा सकता है,उत्पादन के पैमाने में बदलाव के साथ स्वच्छ कक्ष क्षेत्रों के तेजी से विस्तार या समायोजन का समर्थन करना.
प्रत्येक मॉड्यूलर क्लीनरूम यूनिट को एकीकृत सीलिंग सिस्टम के साथ इंजीनियर किया गया है, जिसमें गैसकेटेड जोड़ और दबाव अंतर नियंत्रण शामिल हैं, ताकि क्षेत्रों के बीच क्रॉस-दूषण को रोका जा सके।
एचवीएसी प्रणाली भी मॉड्यूलर हैं, प्रत्येक खंड के लिए समर्पित वायु हैंडलिंग इकाइयों (एएचयू) के साथ, तापमान (± 0.5°C), आर्द्रता (± 2%) और कणों की संख्या के सटीक नियंत्रण को सुनिश्चित करते हैं।
उच्च दक्षता वाले कण वायु (HEPA) या अति-कम प्रवेश वायु (ULPA) फिल्टर छत और दीवार पैनलों में एम्बेडेड हैं,एक दिशात्मक लामिना एयरफ्लो प्रदान करता है जो वेफर्स पर कण संचय को कम करता है.
इसके अतिरिक्त, मॉड्यूलर क्लीनरूम में एकीकृत फर्श निकासी और अपशिष्ट प्रबंधन प्रणाली होती है, जिसमें विशिष्ट क्षेत्रों में खतरनाक सामग्री होती है ताकि प्रदूषकों के प्रसार से बचा जा सके।

