सेमीकंडक्टर कारखानों में मॉड्यूलर क्लीनरूम का सामान्य वर्ग क्या है?
सेमीकंडक्टर फैब में मॉड्यूलर क्लीनरूम को विशिष्ट निर्माण प्रक्रियाओं द्वारा निर्धारित कड़े वायु स्वच्छता मानकों को पूरा करने के लिए डिज़ाइन किया गया है, जो मुख्य रूप से ISO 14644-1 वर्गीकरण प्रणाली के अनुरूप हैं। सबसे आम स्तर इस प्रकार हैं:
ISO क्लास 4 (Fed-Std-209E क्लास 10 के बराबर) यह उच्चतम स्तर है जिसे आमतौर पर मॉड्यूलर रूप में लागू किया जाता है। यह सबसे महत्वपूर्ण प्रक्रिया क्षेत्रों के लिए आरक्षित है, जैसे उन्नत नोड फोटोलिथोग्राफी बे, प्रमुख थिन-फिल्म डिपोजिशन ज़ोन, और EUV (एक्सट्रीम अल्ट्रावायलेट) लिथोग्राफी वातावरण। इन क्षेत्रों में 0.1 μm जितने छोटे कणों के लिए लगभग शून्य कण गणना की आवश्यकता होती है। मॉड्यूलर क्लीनरूम छत में HEPA या ULPA फिल्टर फैन फिल्टर यूनिट (FFUs) की घनी सरणियों के माध्यम से इसे प्राप्त करते हैं, जो उठे हुए फर्श तक एक दिशात्मक, ऊर्ध्वाधर लैमिनार वायु प्रवाह बनाते हैं। उन्हें तापमान, आर्द्रता और कंपन के लिए कठोर नियंत्रण के साथ एकीकृत किया गया है।
ISO क्लास 5 (क्लास 100): यह मुख्य निर्माण क्षेत्रों के लिए वर्कहॉर्स मानक है। मुख्यधारा के लॉजिक और मेमोरी फैब में डिफ्यूजन, एचिंग, आयन इम्प्लांटेशन और केमिकल मैकेनिकल प्लेनरइजेशन (CMP) जैसी प्रक्रियाओं के लिए अधिकांश मॉड्यूलर क्लीनरूम ISO 5 के लिए बनाए गए हैं। वे एक नियंत्रित वातावरण प्रदान करते हैं जहां ≥0.5 μm कणों के लिए कण गणना 3,520 प्रति घन मीटर तक सीमित होती है। मॉड्यूलर निर्माण प्रक्रिया उपकरणों, उपयोगिता चेज़ और रिटर्न एयर प्लम के कुशल लेआउट की अनुमति देता है।
ISO क्लास 6 (क्लास 1,000): ये आमतौर पर थोड़े कम महत्वपूर्ण क्षेत्रों के लिए तैनात किए जाते हैं, जैसे कुछ मेट्रोलॉजी क्षेत्र, कुछ असेंबली और पैकेजिंग लाइनें, वेफर निरीक्षण स्टेशन, और स्वच्छ सामग्री हस्तांतरण गलियारे (AMHS)। वे पावर सेमीकंडक्टर या परिपक्व प्रक्रिया नोड्स पर उपकरणों के उत्पादन के लिए भी उपयुक्त हैं।
ISO क्लास 7 (क्लास 10,000) और ISO क्लास 8 (क्लास 100,000): इन स्तरों पर मॉड्यूलर क्लीनरूम सहायता और सहायक कार्य करते हैं। उनका उपयोग आमतौर पर उपकरण सेवा बे, रासायनिक और गैस आपूर्ति क्षेत्रों (बल्क डिलीवरी ज़ोन), गाउनिंग रूम और वेफर लोडिंग/अनलोडिंग तैयारी क्षेत्रों के लिए किया जाता है। वे उच्च-श्रेणी के कोर फैब तक संदूषण को पहुंचने से रोकने के लिए बफर ज़ोन के रूप में कार्य करते हैं।
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